絕壓模組是一款獨特LGA封裝的壓力芯片模組,其MEMS芯片利用自主研發(fā)的SENSA 工藝制備,搭載專用集成電路調理芯片,具有精度高、穩(wěn)定性好、優(yōu)異溫度補償等優(yōu)點,可根據客戶需求將其封裝為所需壓力傳感器形式,實現特定比例輸出信號的標定。本系列產品在補償溫區(qū)(-40°C至125℃)、全量程范圍內精度小于± 2.0%。 差壓模組是一款基于陶瓷材料的LGA封裝形式的、高穩(wěn)定性的微差壓芯片模組,其MEMS 芯片利用先進的世界通用的全硅壓力傳感器工藝制備,搭載專用集成電路調理芯片,具有精度高、穩(wěn)定性好、優(yōu)異溫度補償等優(yōu)點,可根據客戶需求將其封裝為所需壓力傳感器形式,實現特定比例輸出信號的標定。 本系列產品在補償溫區(qū)(-40°C至125℃)、全量程范圍內精度小于± 3.0%
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充油介質隔離式壓力傳感器模組,其核心敏感原件由自主研發(fā)的高性能MEMS壓力傳感芯片搭載電橋放大標定專用集成電路調理芯片而成。壓力感應模組通過不銹鋼金屬膜片進行介質隔離,能在各種介質下提供良好的線性模擬輸出,是一款面向民用、低成本的壓力傳感器。
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