MEMS流量傳感器-MSH01
產(chǎn)品類(lèi)別：
流量傳感器是基于熱傳導(dǎo)原理。傳感器結(jié)構(gòu)由位于敏感薄膜上的微熱源、與微熱源對(duì)稱(chēng)的上游溫度傳感器和下游溫度傳感器以及位于硅基上的環(huán)境溫度傳感器組成。當(dāng)傳感器表面沒(méi)有流體流動(dòng)時(shí)，微熱源周?chē)臏囟葓?chǎng)呈對(duì)稱(chēng)分布，如(a)；當(dāng)傳感器表面有流體流動(dòng)時(shí)，由于流體對(duì)微熱源有冷卻效應(yīng)，導(dǎo)致微熱源周?chē)臏囟葓?chǎng)被干擾，微熱源上下游呈不對(duì)稱(chēng)分布，如圖 (b)；流體流動(dòng)的速度越大，氣體從微熱源帶走的流速越大，微熱源周?chē)臏囟鹊牟粚?duì)稱(chēng)性越大。流體的流速通過(guò)上下游溫度傳感器的溫度差獲得。
關(guān)鍵詞：
MEMS流量傳感器
產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品描述：
流量傳感器是基于熱傳導(dǎo)原理。傳感器結(jié)構(gòu)由位于敏感薄膜上的微熱源、與微熱源對(duì)稱(chēng)的上游溫度傳感器和下游溫度傳感器以及位于硅基上的環(huán)境溫度傳感器組成。當(dāng)傳感器表面沒(méi)有流體流動(dòng)時(shí)，微熱源周?chē)臏囟葓?chǎng)呈對(duì)稱(chēng)分布，如(a)；當(dāng)傳感器表面有流體流動(dòng)時(shí)，由于流體對(duì)微熱源有冷卻效應(yīng)，導(dǎo)致微熱源周?chē)臏囟葓?chǎng)被干擾，微熱源上下游呈不對(duì)稱(chēng)分布，如圖 (b)；流體流動(dòng)的速度越大，氣體從微熱源帶走的流速越大，微熱源周?chē)臏囟鹊牟粚?duì)稱(chēng)性越大。流體的流速通過(guò)上下游溫度傳感器的溫度差獲得。
- 寬量程比>300:1
- 響應(yīng)速度快<5ms
- 超低啟動(dòng)流量 <0.05m/s
- 高靈敏度高精度 高于+/-3%讀數(shù)精度
- 不可動(dòng)部件，可靠性高
- 適用于潔凈氣體和液體
- 醫(yī)療呼吸、診斷設(shè)備
- 燃料電池控制
- 汽車(chē)空氣流量計(jì)
- 家用燃?xì)庠O(shè)備
- 氣相、液相色譜質(zhì)譜分析儀
- HVAC
- 檢漏儀
- 工業(yè)自動(dòng)化
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